廢氣處理設施涉及相關貯存、高溫高壓、輸送、高噪音、混合攪拌等設備者，可參考其各別說明。

吸收、化學反應、水粒衝撞等原理之廢氣處理設施：應注意廢水產生量及其對環境影響之考量。

吸附、靜電、觸媒、離心、過濾、撞擊等原理之廢氣處理設施：應注意廢棄物產生量及其對環境影響之考量。

設施操作污染物：考量廢氣操作所產生之汰換材料、污泥、設備清洗廢水之數量、處置方式對環境之影響。

處理氣體排放：應考量其排放數量、成分對承受臨近、可能影響區域及生態環境之影響。

異常：考量製程不穩使得處理效果降低程度及其對環境之影響。